一种微型盘状叉指电极的压电圆盘扭转致动器,利用压电陶瓷材料的传感、致动、高能量密度、快速响应速率及纳米级精度等特性,实现了扭转变形大,堵转力矩强及谐振频率高的目标。盘状叉指电极的压电圆盘扭转致动器的设计,实现了平面扭转功能,更加高效。
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