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摘要
本发明公开了一种基于单晶薄膜的滤波器及制备方法,其中滤波器包括：衬底；中间层,中间层的第一表面与衬底的第一表面连接；空腔,空腔为通过腐蚀中间层的中间部分获得的腔体；底电极层,底电极层的中间部分设有开口,底电极层的第一表面的一部分与中间层的第二表面连接,另一部分与空腔连接；压电层,压电层的第一表面与底电极层的第二表面连接；顶电极层,顶电极层的第一表面与压电层的第二表面连接。本发明采用对中间层进行腐蚀获得空腔的方式,避免了传统加工中为了制作谐振空腔需要一步单独的工艺制作牺牲层,极大地简化了加工工艺,使得制备成本低、可靠性高。本发明可广泛应用于滤波器技术领域。
- 出版日期2023-3-27
- 单位华南理工大学
