导电有机物电化学聚合薄膜支承及其在超精密测试导轨系统中的应用

作者：姚振强; 薛秉源; 贝季瑶

来源：润滑与密封, 1994, (01): 36-39.

• 薄膜支承
• 电化学聚合
• 超精密

本文重点介绍了将支承基底直接作为电化学电极,用电化学方法将导电有机物薄膜聚合沉积在其上形成的薄膜支承的结构特点和制作方法;探讨了其在纳米级表面形貌和轮廓测试仪等精密和超精密测试中的应用前景。

• 出版日期1994
• 单位上海交通大学