摘要

用多靶磁控溅射技术制备了Au/SiO_2纳米多层薄膜.利用透射电子显微镜以及吸收光谱对Au/SiO_2复合薄膜的微观结构、表面形貌及光学性能进行了表征和测试.研究结果表明:单层Au/SiO_2薄膜中Au沉积时间小于10s时,分散在SiO_2中的Au颗粒随Au的沉积时间的延长而增大;当沉积时间超过10s后,Au颗粒的尺寸几乎不随沉积时间变化,但Au颗粒的形状由网络状结构变为薄膜状结构.[Au(t1)SiO_2(600)]×5多层薄膜在540—560nm波长附近有明显的表面等离子共振吸收峰,且吸收峰的强度随Au的沉积时间增加而增强.基于修正后的Maxwell-Garnett(M-G)有效媒质理论,...