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摘要
建立一个低能电子在多元多层介质中散射ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模拟计算方法。低能电子在多元介质中弹性散射用Ｍｏｔ截面描述并应用作者提出的平均散射截面方法进行模拟计算；给出多元介质中修正的Ｂｅｔｈｅ方程计算低能电子非弹性散射能量损失。计算了低能电子在电子束曝光胶中能量沉积分布。
- 出版日期1997
- 单位中国科学院上海硅酸盐研究所; 山东大学
建立一个低能电子在多元多层介质中散射ＭｏｎｔｅＣａｒｌｏ模拟计算方法。低能电子在多元介质中弹性散射用Ｍｏｔ截面描述并应用作者提出的平均散射截面方法进行模拟计算；给出多元介质中修正的Ｂｅｔｈｅ方程计算低能电子非弹性散射能量损失。计算了低能电子在电子束曝光胶中能量沉积分布。
