HfO_2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗

作者：陈上碧; 盛斌; 邱克强; 刘正坤; 徐向东; 刘颖; 洪义麟; 付绍军

来源：强激光与粒子束, 2011, (08): 2106-2110.

• 多层介质膜脉宽压缩光栅
• 污染物
• Piranha溶液
• 扫描电子显微镜
• X射线光电子能谱 multilayer dielectric pulse compressor gratings
• contamination
• Piranha solution
• scanning electron microscope
• X-ray photoelectron spectroscopy

为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀生成的碳氟化合物及金属氟化物。对Piranha溶液的清洗温度、组成成分、清洗时间、清洗遍数等参数进行了系统研究,用扫描电子显微镜(SEM)观察清洗前后的PCG表面形貌,用X射线光电子能谱仪(XPS)检测清洗前后PCG表面的元素成分及其原子分数的变化,并分析了各残留污染物的去除机理。实验结果表明:Piranha溶液能有效去除PCG表面污染物,而且清洗温度越高,清洗遍数越多,...

• 出版日期2011
• 单位中国科学技术大学