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Molecular Mechanisms of Aluminum Oxide Thin Film Growth on Polystyrene during Atomic Layer Deposition
作者：Puttaswamy Manjunath; Haugshoj Kenneth Brian; Christensen Leif Hojslet; Kingshott Peter
*
来源：
Chemistry - A European Journal
, 2010, 16(47): 13925-13929.
DOI：10.1002/chem.201001888
aluminum oxides
atomic layer deposition
hybrid materials
polystyrenes
mass spectrometry
出版日期
2010
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