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Systematic investigation of the reactive ion beam sputter deposition process of SiO2
作者：Mateev Maria; Lautenschlaeger Thomas; Spemann Daniel; Finzel Annemarie; Gerlach Juergen W; Frost Frank; Bundesmann Carsten
来源：
European Physical Journal B
, 2018, 91(2): 45.
DOI：10.1140/epjb/e2018-80453-x
出版日期
2018-2-19
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