铜基类金刚石膜功能梯度材料作为散热材料的研究

作者：王静; 刘贵昌; 李红玲; 侯保荣

来源：Acta Physica Sinica, 2012, (05): 472-478.

• 铜基体
• 类金刚石膜
• 梯度过渡层
• 热导率 copper substrate
• diamond-like carbon
• graded intermediate layer
• thermal conductivity

随着电子技术、信息产业的发展,Cu在微型散热材料、电子封装材料上应用日益广泛.Cu在应用过程中存在强度低、易氧化、易磨损等缺点.采用等离子体复合沉积技术,在铜基体上制备了Ti/TiC/DLC功能梯度材料,改善铜基体与美金刚石(DLC)膜的结合力,强化了铜的机械性能.瞬态热反射法检测结果表明,DLC功能梯度材料不会影响铜基体的散热效果.

• 出版日期2012
• 单位中国科学院海洋研究所; 大连理工大学