低损耗乐甫波传感器的实验研究

作者：程利娜; 刘明华; 李红浪; 何世堂

来源：仪表技术与传感器, 2009, S1: 123-124+174.

• 乐甫波传感器
• 单相单向结构
• 损耗 love wave sensor
• SPUDT
• insertion loss

文中采用单相单向叉指换能器(SPUDT)降低乐甫波传感器的双向损耗,并从实验方面研究了SPUDT结构反射中心位置对器件损耗的影响。乐甫波传感器的多层波导结构改变了常规的EWC/SPUDT(控制栅条宽度的SPUDT)的反射系数和换能系数,不能实现完全的单向传播,从而使传感器损耗变大。文中通过调整反射栅的位置,来改变反射中心和换能中心的间距L,通过实验的方法分析L对损耗的影响,得到了间距L与器件损耗之间的关系。文中实验基片采用ST-90°X石英,铝电极厚度为0.77%λ(λ为SPUDT周期),声波导材料为二氧化硅,厚度为0.0128λ,L大小范围为(3/8-1/9)λ到(3/8+1/9)λ,实验结...

• 出版日期2009
• 单位中国科学院声学研究所