陶瓷激光精密打孔工艺研究

作者：张银江; 方鸣岗

来源：激光与红外, 2001, (03): 161-162.

• 脉冲Nd∶YAG激光
• AL2O3陶瓷
• 激光打孔 pulse Nd∶YAG laser
• AL 2O 3ceramic
• laser drilling.

用脉冲 Nd∶ YAG激光对氧化铝 (AL2 O3)陶瓷基片进行了激光打孔试验 ,分析了激光能量、激光脉宽、脉冲频率、离焦量等工艺参数对成孔质量的影响

• 出版日期2001
• 单位中国电子科技集团公司第十一研究所