QMS101四极质谱计物理部分研制及适用性分析

作者：冯天佑; 陈联; 王星辉; 邱云涛; 郭文; 吴成耀; 李玉成; 成永军^*

来源：真空与低温, 2022, 28(04): 490-496.

• 四极质谱计
• 90°离轴
• 微通道板
• 通用型分析器

针对四极质谱计国产化需求,研制QMS101型四极质谱计。该质谱计物理部分为90°离轴结构,采用轴向敞开式EI型离子源,四极杆长度203.2 mm,场半径4.157 mm,配备了法拉第板和微通道板型电子倍增器(MCP)两种检测器,其中电子倍增器90°离轴安装。QMS101四极质谱计质量检测范围1～1 040 amu,偏转电极工作下法拉第板和MCP均检测正常。四极滤质器出口到MCP表面的离子运动轨迹模拟和MCP增益衰减实验表明,MCP应用于四极质谱计应对离子聚焦和收集面积进行匹配。QMS101物理部分可作为一种通用型四极质谱计分析器,配备不同射频电源可覆盖大多数四极质谱计应用需求。

• 出版日期2022
• 单位兰州空间技术物理研究所