压痕法和十字交叉法评价类金刚石硬质涂层的界面结合强度

作者：李坤明; 包亦望; 万德田; 邱岩; 卜晓雪

来源：硅酸盐学报, 2010, (01): 119-125.

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.2010.01.011

• 压痕法
• 十字交叉法
• 类金刚石涂层
• 界面结合强度 indentation method
• cross-bonded method
• diamond-like carbon coatings
• interfacial bonding strength

涂层与基体界面结合强度是硬质涂层材料一个关键的性能指标。应用压痕法和十字交叉法测试了硅基/类金刚石(diamond-like carbon,DLC)涂层的界面结合强度。结果表明:利用Vickers压痕法和Hertz压痕法测量所得硅基/DLC涂层的临界载荷分别为0.981N和300N。用Vickers压痕法测量时,载荷达到临界载荷后涂层将产生环状开裂,当载荷进一步增大时,还会产生径向裂纹;对于Hertz压痕法,载荷从300N增加到800N时,涂层环状裂纹从1个增加到4个。通过采用十字交叉法测量得到硅基/DLC涂层界面拉伸强度和剪切强度分别为(8.9±2.7)MPa和(20.1±2.6)MPa,表...

• 出版日期2010
• 单位河南省计量科学研究院; 中国建筑材料科学研究总院