一种体声波谐振器及改进其聚能结构的方法

作者：费春龙; 安再芳; 谌东东; 娄利飞; 赵建新

来源：2021-06-25, 中国, ZL202110710950.3.

本发明公开了一种体声波谐振器及改进其聚能结构的方法,该体声波谐振器包括衬底、底电极层、压电层、顶电极层及聚能框架结构；所述聚能框架结构根据等效声阻抗要求可调,所述聚能框架结构根据等效阻抗要求调整时,包括：根据等效声阻抗要求选择聚能框架结构的材料；根据选定的材料调整聚能框架结构各部分的长度。本发明实现了聚能结构长度和材料的灵活选择,便于谐振器整体结构调整。同时可以在满足声阻抗失配的条件下,优选合适的框架结构,实现多种寄生模态声波的反射,达到提高谐振器品质因数的目的。

• 出版日期2021-6-25
• 单位西安电子科技大学