增强型复合栅晶体管及其制作方法

作者：毛维; 王海永; 杨翠; 高北鸾; 郝跃

来源：2020-07-28, 中国, CN202010735319.4.

本发明公开了两种增强型复合栅晶体管及其制作方法,主要解决现有功率开关器件存在的阈值电压低的问题,其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、栅柱(6)、源极(7)、漏极(8)、台面(9)、栅极(10)和保护层(16)。其中栅柱具有两种结构,第一种结构中的栅柱由P型层(4)和N型层(5)组成,其N型层包括N-型层(51)和N+型层(52)；第二种结构中的栅柱由P型层(4)和N型排柱(5)组成,其N型排柱包括N-柱(51)和N+柱(52)。本发明阈值电压高,可靠性好,且制作工艺简单,可作为开关器件。

• 出版日期2020-7-28
• 单位西安电子科技大学