本文在传统的傅里叶模式方法基础上,提出了一种点匹配准谱法来计算薄层光栅的衍射效率。我们首先运用切比雪夫准谱法精确地计算了光栅层中的特征模式,然后在各层边界处匹配傅里叶系数,最后计算得到光栅衍射效率。通过文中数值算例可以看出,用该方法在计算光栅衍射效率,在稳定性和精确度方面明显优于传统的傅里叶模式方法。同时,我们引入了约束最小二乘法在一定程度上解决了模式方法中广泛存在的收敛问题。
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