电磁微电机的设计与制造技术

作者：高杨; 赵小林; 陈文元; 张琛

来源：信息与电子工程, 2003, (03): 71-74.

• 电气工程
• 电磁微电机
• 综述
• MEMS
• 平面线圈 electric engineering
• electromagnetic micromotor
• survey
• MEMS
• planar coil

介绍了上海交通大学电磁微电机的研究、设计、制造技术及应用现状。

• 出版日期2003
• 单位上海交通大学; 中国工程物理研究院电子工程研究所