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摘要
设计了一种基于条纹投影的自动对焦显微镜系统。通过红外光源将光栅掩膜板投射到被测物表面,用于对焦判断。通过白光光源进行系统照明。使用带通滤光片分离出由红外光源投射的光栅像,并由线阵CCD采集,用于离焦量和离焦方向的判断。由白光光源照射得到被测物的像,并由面阵CCD接受用于直接观测。使用Tracepro对设计的系统进行仿真,分析得到适用于线阵CCD采集的光栅图的一维清晰度评价函数,并使用系统对不同被测物进行仿真对焦实验与误差分析。仿真结果表明,本系统可对不同被测物进行自动对焦。
- 出版日期2019
- 单位合肥工业大学
