高光洁度玻璃基片的表面散射和体散射测量

作者：侯海虹; 洪瑞金; 范正修; 易葵; 邵建达

来源：强激光与粒子束, 2006, (04): 609-611.

• 表面散射
• 体散射
• 总积分散射
• 玻璃基片
• 表面粗糙度 Surface scattering
• Volume scattering
• Total integrated scattering
• Glasses substrate
• Surface roughness

提出了一种利用总积分散射(TIS)测量K9玻璃基片表面散射和体散射的实验方法。首先采用磁控溅射技术在基片表面沉积厚度为几十nm的金属Ag薄膜,然后将基片的表面和体区分开考虑,通过TIS测得了基片上下表面的均方根粗糙度,进而求得基片的总散射和表面散射,最后计算得到了体散射。分别利用TIS和原子力显微镜(AFM)测量了3个样品上表面所镀Ag膜的均方根粗糙度,两种方法所得的均方根粗糙度的数值相差不明显,差值分别为0.08,0.11和0.09 nm,表明TIS和AFM的测量结果相一致。利用该方法测得3块K9玻璃基片的总散射分别为6.06×10-4,5.84×10-4和6.48×10-4,表面散射介于1...

• 出版日期2006
• 单位中国科学院大学; 中国科学院上海光学精密机械研究所