电容式加速度计单芯片开环检测电路的研制

作者：王岳生; 徐世六; 刘伦才; 黄文刚

来源：固体电子学研究与进展, 2010, (04): 596-600.

• 微电子机械系统
• 加速度计
• 低噪声
• 低功耗 MEMS
• accelerometer
• lower noise
• lower power consumption

针对MEMS电容式加速度传感器,成功地研制出了一种单芯片集成检测电路。与国内常用的闭环结构不同,本电路采用的是开环检测电路。当电源电压为5V时,测得系统功耗为9 mW,灵敏度为15.8mV/g,线性误差为1.8%,噪声电压的峰峰值小于200μV(12.6 mg),测量范围为+/-100g。

• 出版日期2010
• 单位中国电子科技集团公司第二十四研究所; 电子科技大学