根据钙钛矿结构的特点,提出了一种基于双格子系统的动力学蒙特卡罗KMC方法(kinetic monte carlo)。与传统的SOS(solid-on-solid)模型不同,该方法从单个原子事件出发,模拟沉积原子在表面的吸附、扩散和成键的动力学过程。应用该方法模拟了BaTiO3薄膜在(001)面的同质外延生长过程,分析沉积原子动能对BaTiO3薄膜生长过程中形核率、岛密度、三维形貌、缺陷率以及成键率的影响,为优化工艺参数、制备高性能铁电薄膜提供依据。
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