薄膜应力分析及一些测量结果

作者：范瑞瑛; 范正修

来源：光学仪器, 2001, Z1: 84-91.

• 热应力
• 形变
• 沉积
• 老化 thermal stress
• deformation
• deposition
• aging

论述了薄膜应力在强激光薄膜应用中的重要性 ,分析了应力的形成原因及沉积参数、老化条件的关系 ,给出了应力的简单测试方法及部分结果

• 出版日期2001
• 单位中国科学院上海光学精密机械研究所