AlN MOCVD生长模式的密度泛函研究

作者：胡相焱; 程锦荣

来源：安徽大学学报(自然科学版), 2012, (05): 43-46.

• AlN
• MOCVD
• 密度泛函理论
• 生长模式 AlN
• MOCVD
• DFT
• growth mode

采用密度泛函理论(density functional theory)和Gaussian03程序包研究AlN MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)的生长模式,得到与实验观察相一致的计算结果,给出AlN MOCVD在衬底上生长出单层薄膜后,然后进行的是岛状生长而不是层状生长的理论解释.

• 出版日期2012
• 单位安徽大学