摘要

利用时域有限差分方法,研究硅薄膜上下表面周期半圆凹槽结构对于太阳光吸收的增强效应.研究发现这种结构可以实现太阳光宽波段的光吸收增强,通过调节SiO2表面减反层厚度和凹槽半径长度来实现薄膜太阳能电池最大的光吸收,并实现了波长在300—1000nm范围的太阳光吸收总能量比没有这种结构下硅薄膜光吸收提高了约117%.