模拟非硅衬底上转换效率10%的多晶硅薄膜太阳电池

作者：许颖于元励旭东李仲明

来源：太阳能学报, 2002, (01): 108-110.

• 薄膜太阳电池
• 快速热化学气相沉积
• 区熔再结晶 thin film solar cells
• rapid thermal chemical vapor deposition
• zone melt recrystallization

在重掺杂非活性单晶硅片上生长一定厚度的SiO2 ,开窗口后作为衬底 ,利用快速热化学气相沉积(RTCVD)及区熔再结晶 (ZMR)方法制备多晶硅薄膜太阳电池。由于采用了区熔再结晶 (ZMR)的方法 ,获得了取向一致的多晶硅薄膜 ,为薄膜电池的制备打下了良好的基础 ,转换效率达到 10 2 1%。

• 出版日期2002
• 单位北京市太阳能研究所集团有限公司