基于有机弹性体栅绝缘层的薄膜晶体管压力传感器|科研之友

摘要

本发明公开了基于有机弹性体栅绝缘层的薄膜晶体管压力传感器。该压力传感器结构为顶栅错列型结构，主要包括：受压后发生形变，压力撤除后迅速恢复原状的有机弹性体作为栅绝缘层；电学性能优良的无机半导体材料作为有源层。薄膜晶体管栅极所受的压力使有机弹性体栅绝缘层的实际厚度发生变化，从而影响栅绝缘层电容，进而改变无机半导体薄膜晶体管的漏极电流，通过对漏极电流的检测即可反映栅极所受压力的大小。

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