AZO溅射靶材的热压制备(英文)

作者：王星明; 白雪; 段华英; 石志霞; 孙静; 卢世刚; 黄松涛

来源：Transactions of Nonferrous Metals Society of China, 2011, (07): 1550-1556.

• AZO
• 溅射靶材
• 热压
• 气孔
• 相结构 aluminum-doped ZnO (AZO)
• sputter target
• hot pressing
• pore
• phase structure

按质量比92:2将ZnO和Al2O3粉末采用热压方法制备AZO溅射靶材。研究温度、压力、保温和保压时间等热压工艺条件对靶材相对密度的影响,研究致密化过程中的气孔演化和相结构变化。结果表明:采用分段热压方式,即在压力35MPa下,在温度1050℃和1150℃分别保温保压1h,所制备的AZO靶材具有最大的相对密度99%。在温度为1050℃时,靶材中的闭合气孔率最低;当热压温度低于900℃时,靶材中存在Al2O3相;当温度升高到1000℃以后,Al2O3相消失,但有ZnAl2O4相生成,且ZnAl2O4相随着温度的升高而增加。与无压烧结比较,热压烧结具有烧结温度低、ZnAl2O4相含量低的优点。靶材...

• 出版日期2011
• 单位北京有色金属研究总院