纳米压痕法表征BNT薄膜的压电性能

作者:廖艳果; 胡和平; 郑学军
来源:湘潭大学自然科学学报, 2015, 37(03): 9-14.
DOI:10.13715/j.cnki.nsjxu.2015.03.002

摘要

利用有限元方法模拟了BNT薄膜/基底体系的纳米压痕过程,分析讨论了BNT薄膜的压电参数对加载的最大压痕载荷、加载曲线指数的影响,用量纲分析结合有限元方法建立了压痕的加载参数和BNT薄膜的压电参数的无量纲关系.

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