高密度热解氮化硼材料的制备及性能表征

作者：张佳伟; 刘汝强; 赵旭荣; 吴思华; 王殿春

来源：真空电子技术, 2018, (04): 26-28.

DOI：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2018.04.06

• 热解氮化硼
• 电真空
• 纯度
• 晶体结构
• 热导率
• 抗弯强度

本文采用化学气相沉积法(CVD)制备热解氮化硼,通过调整CVD温度、CVD压力,获得了密度大于2.17g/cm3、金属杂质含量小于10×10-6、层结构均匀、室温热导率达90 W/m·K的高密度热解氮化硼板材。测试结果表明,不同密度热解氮化硼材料的性能差异较大,高密度热解氮化硼产品具有更加优越的理化性质。

• 出版日期2018