提高轮廓仪对大曲率半径表面形貌测量精度的研究

作者：梁旭; 王军华; 徐敏

来源：激光与光电子学进展, 2012, (07): 103-107.

• 测量
• 非球面测量
• 轮廓仪
• 大曲率半径
• 自准直仪 measurement
• measurement of aspherical surface
• surface profiler
• large radius of curvature
• autocollimator

结合超精密制造技术,讨论了轮廓仪测量大曲率半径表面形貌存在的精度缺陷。提出了利用NIKONAutocollimator 6D自准直仪辅助Form Talysurf PGI 1250A以提高轮廓仪测量精度的改进方法。当自准直仪的光轴与样品顶点的法线共轴时,旋转样品其顶点的法线方向不变,因此自准直仪的反射像位置也不会变,并且自准直仪有很高的精度,从而可将其用于寻找顶点。基于相关参数对提高轮廓仪测量精度进行了理论计算和Zemax模拟。搭建实验装置对不同曲率半径的样品进行测量,与改进前实验结果进行对比,证明了轮廓仪测量精度提高到原来的2～4倍,适用于测量大曲率半径表面形貌,验证了改进方法的合理性和有效...

• 出版日期2012
• 单位复旦大学