奥氏体不锈钢上功能梯度SiC薄膜的制备和性能

作者：李合琴; 都智; 储汉奇; 聂竹华

来源：材料热处理学报, 2012, (01): 150-154.

DOI：10.13289/j.issn.1009-6264.2012.01.028

• 奥氏体不锈钢
• 磁控溅射
• SiC单层膜
• Ti/TiN双层膜
• Ti/TiN/SiC功能梯度薄膜 austenitic stainless steel
• magnetron sputtering
• SiC monolayer films
• Ti/TiN bilayer films
• Ti/TiN/SiC functionally gradient films

用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上制备了SiC单层膜和Ti/TiN双层膜以及Ti/TiN/SiC功能梯度薄膜。采用XRD和显微硬度计对薄膜的结晶质量和硬度进行表征;用AFM和SEM对薄膜的表面和截面形貌进行了表征。结果表明:Ti/TiN双层膜在氩氮流量比为15∶15时,薄膜的结晶质量最好,硬度最高,达到15.6 GPa,最适合作为钢基SiC薄膜的缓冲层。另外,功能梯度SiC薄膜比SiC单层膜的结晶质量好;不同退火温度下功能梯度SiC薄膜的硬度高于SiC单层膜,同时功能梯度SiC薄膜的表面结晶质量也优于SiC单层膜。

• 出版日期2012
• 单位合肥工业大学