AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N双层扩散阻挡层的制备及热稳定性

作者：张立东; 王飞; 陈顺礼; 汪渊

来源：金属学报, 2013, (12): 1611-1616.

• 高熵合金
• 双层扩散阻挡层
• 热稳定性 high-entropy alloy
• bilayer diffusion barrier
• thermal stability

通过多靶共溅射的方法,制备了(AlCrTaTiNi)N和双层AlCrTaTiNi/(A1CrTaTiNi)N扩散阻挡层,并利用XRD,EDS和SEM研究了其组织结构、相组成及在高温下的热稳定性能.结果表明Cu/(A1CrTaTiNi)N/Si经500℃退火后界面处已有脱开倾向,700℃后Cu膜则完全脱落.AlCrTaTiNi可增强Cu和(A1CrTaTiNi)N的粘附性.AlCrTaTiNi/(AlCrTaTiNi)N经800℃退火后仍能起到有效的扩散阻挡性能,900℃下出现了深能级的Cu-Si相,方块电阻急剧升高,表明该阻挡层失效.

• 出版日期2013
• 单位四川大学