薄膜疲劳失效预测方法与损伤机制的研究进展

作者：刘金娜; 徐滨士; 王海斗; 金国; 朱丽娜

来源：机械工程学报, 2014, (20): 26-34.

• 薄膜疲劳
• 失效预测
• 动态载荷法
• 损伤机制
• 研究现状 fatigue of thin films
• failure prediction
• dynamic load method
• damage mechanism
• research status

薄膜材料的尺寸范围、结构以及其服役环境的特殊性,制约了薄膜失效行为、寿命预测及可靠性评估技术研究的开展。对薄膜疲劳寿命的预测方法进行综述,分析常用的单向循环加载法和悬臂梁弯曲法。详细介绍纳米级动态载荷法,包括连续刚度法和纳米冲击试验法,此法能够对实际服役环境更好地模拟,可以实现分相测试以及多种功能模块的原位定点检测,以及定量分析薄膜的疲劳性能。对薄膜疲劳损伤失效机制与寿命预测模型的研究进行探讨与展望,发现薄膜材料失效过程的研究与定量分析是今后研究的重点。

• 出版日期2014
• 单位中国地质大学（北京）; 中国人民解放军装甲兵工程学院; 哈尔滨工程大学