W和W/Ti合金靶材的应用及其制备技术

作者：王庆相; 范志康

来源：粉末冶金技术, 2009, (01): 52-57.

• 靶材
• 应用
• 制备技术

近年来随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,对各种高纯金属及合金溅射靶材的需求量也愈来愈大。本文简要介绍了当前W和W/Ti合金靶材的应用和制备方法等,对W和W/Ti合金靶材未来的制备技术进行了展望。

• 出版日期2009-2-27
• 单位西安理工大学