研究了电化学沉积GaAs薄膜的条件以及电化学沉积参数对GaAs薄膜成分的影响 ,并通过正交实验调节这些化学沉积参数 ,得到了化学计量比接近 1∶1的GaAs薄膜以及电化学沉积GaAs薄膜的最佳参数范围 ,为获得实用的GaAs薄膜材料打下了基础。
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