单晶硅表面沉积Ni-Co-P镀层的显微结构和性能

作者：张含卓; 钟耀东; 许程

来源：稀有金属材料与工程, 2014, (03): 722-726.

• Ni-Co-P合金
• 化学镀
• 显微结构
• 腐蚀行为
• 电磁性能 Ni-Co-P alloy
• electroless
• microstructure
• corrosion behavior
• electric and magnetic property

采用化学镀工艺在p型(100)单晶硅表面制备了2种Ni-Co-P镀层,对比分析其显微结构和性能。结果表明:Ni48Co46P6镀层为非晶和纳米晶混合结构,表面均匀分布着直径0.2~3.5μm的球状团簇。而Ni22Co74P4镀层为单相密排六方结构,含有强烈的(0002)晶面择优取向,表面由纳米级梭状团簇和微米级苞状团簇混合而成。在3.5%NaCl溶液中,2种镀层均表现出活化-钝化-过钝化的腐蚀行为,其中Ni48Co46P6镀层的耐蚀性能较好。而在1.0%H2SO4溶液中,2种镀层的耐蚀性能均大幅下降。与Ni48Co46P6镀层相比,Ni22Co74P4镀层的室温电阻率略有降低,饱和磁化强度和矫...

• 出版日期2014
• 单位中国矿业大学（北京）; 中国矿业大学