一种用于压电致动器的电荷泵校正驱动方法

作者:张连生; 张鹏程; 黄强先; 程荣俊; 李瑞君; 李红莉
来源:2022-12-29, 中国, CN202211704155.4.

摘要

本发明公开了一种用于压电致动器的电荷泵校正驱动方法,是利用基准电压模块产生正负基准电压;利用逻辑比较模块产生基准电压模块的控制信号f-1;利用开关电容模块控制压电致动器两端电荷量的变化速率;利用迟滞校正模块产生变化的电压信号控制压频转换模块;利用压频转换模块产生开关电容模块的控制信号f-2;其中,迟滞校正模块的校正参数由经典电荷泵驱动的输出迟滞曲线进行二阶多项式拟合得到。本发明能实现输出位移范围与频率的简单可调,在驱动电压范围为0到100V范围时能在经典电荷泵驱动的基础上将压电致动器的迟滞大幅降低至0.47%以下,从而能明显改善压电致动器的迟滞非线性,具有较大的应用价值。