三氯氢硅生产工艺中产生大量尾气,主要成分氢气、氯化氢、氯硅烷,如果直接排放不但污染环境,而且造成资源的浪费。用树脂吸附法对尾气进行回收并再利用,具有较大的工业应用前景。在Ф10×380mm玻璃吸附柱内,用型号为A1、A2、A3的3种大孔树脂,进行了吸附和解吸性能研究。结果表明,A1树脂性能最优。最佳吸附工艺条件为:温度20℃,尾气流量5L/h,吸附时间2.8h。解吸过程的最佳工艺条件:温度110℃,氮气流量7.5L/h,时间1.5h。
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