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摘要
<正>电子薄膜与集成器件国家重点实验室(UESTC)是以电子科技大学教育部新型传感器重点实验室、信息产业部电子信息材料及应用重点实验室和功率半导体技术重点实验室为基础,于2006年7月经科技部批准组建,2008年10月通过科技部验收并正式开放运行,现任实验室学术委员会主任为雷清泉院士,实验室主任为李言荣院士。实验室覆盖了微电子学与固体电子学、电子材料与元器件、材料物理化学、材料学4个博士点学科,其中微电子学与固体电子学为国家重点学科。电子材料的薄膜化和电子器件的集成化以及介电-磁性-半
- 出版日期2012
- 单位电子科技大学
