摘要

为揭示ZnO-Co薄膜结构与性能之间的关系,采用磁控溅射方法通过改变基片温度,制备了具有不同颗粒尺寸的ZnOCo薄膜,并对其结构、磁性和磁电阻性质进行了研究。结果表明:所有样品均显示颗粒膜结构;随着温度的升高,样品中Co颗粒尺寸逐渐增大,样品的矫顽力和饱和磁化强度逐渐改善,电阻和磁电阻效应均迅速减小;较低温度下沉积的薄膜具有大的室温磁电阻效应,其符合隧穿机制,而较高温度下沉积的薄膜具有小的磁电阻值,这可能与金属导电有关。改变沉积温度可以调节ZnO-Co薄膜中Co纳米颗粒的尺寸,进而调制薄膜的磁性、电阻和磁电阻效应。