MEMS微针的最新研究进展

作者:曹玉田; 朱军; 曹莹; 李以贵; 陈翔; 陈迪
来源:微纳电子技术, 2011, 48(09): 577-582.
DOI:10.3969/j.issn.1671-4776.2011.09.007

摘要

介绍了MEMS微针技术在微针制备工艺、力学和流体性能模拟以及透皮给药方面研究的近况。描述了硅、金属和聚合物材料的微针制备工艺,分析了这些材料在MEMS微针应用上的优缺点。比如硅微针制备工艺成熟但是硅的质地太脆;金属微针机械强度高却不易载药;聚合物微针易于批量化复制但是机械强度差。进一步阐述了微针研究取得的进展,总结了微针技术发展需要解决的关键问题。微针制备工艺已经日趋成熟,微针将朝着可复制化、批量化方向发展,微针经皮给药将逐渐从动物实验转移到人体实验,以实现微针研究的最终目的——临床给药。

  • 出版日期2011
  • 单位上海交通大学; 薄膜与微细技术教育部重点实验室

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