可见光和近红外双带通薄膜滤光片的光谱调控

作者：陈刚; 刘定权^*; 马冲; 王凯旋; 张莉; 高凌山

来源：红外与毫米波学报, 2020, 39(06): 791-795.

• 光学薄膜
• 双光谱通道滤光片
• 离子束溅射沉积
• 光谱控制

空间对地观测的遥感相机中需要基于干涉薄膜的双光谱通道滤光片,在同一几何点上同时形成可见光(波长500～720nm)和近红外(波长(1 064±1) nm)两光谱通道的光谱位置和透射强度均需要进行精确控制。选用JGS-1石英玻璃作为滤光片基片,氧化钽(Ta2O5)和氧化硅(SiO2)分别作为高、低折射率薄膜,由双离子束溅射沉积方法将52层和88层介质薄膜分别镀制在基片的两个表面上。500～720 nm波段的平均透过率达到92%,(1 064±1)nm波段的峰值透过率控制在(26±1)%的范围。

• 出版日期2020
• 单位中国科学院大学; 中国科学院上海技术物理研究所