氮化镓及其固溶体薄膜的生长与应用

作者：杨英艿

来源：稀有金属, 1997, (04): 44-53+65.

• GaN
• 固溶体
• 外延工艺
• InGaN
• MOVPE
• 蓝色LED
• 高温高频应用

介绍ＧａＮ及ＩｎＧａＮ、ＡｌＧａＮ等固溶体薄膜的外延生长工艺和应用，尤其是作为蓝色发光二极管（ＬＥＤ）的应用，对生长工艺中存在的一些问题进行了讨论，并分析其应用前景。

• 出版日期1997
• 单位北京有色金属研究总院