本发明公开了一种通过正负光刻胶复合显影制备微纳米流体系统的方法,是首先以玻璃片为基底,制备具有光栅图形的正光刻胶层,接着在正光刻胶层的表面镀上一层SiO2薄膜,随后在所述SiO2薄膜的表面旋涂一层负光刻胶,完全曝光并显影后得到微纳米流体系统。本发明方法新颖,制作简单,通道的均匀性好,不易出现堵塞,成功率高,同时该方法操作灵活,制造成本低,不需要昂贵的实验器材,利于大面积生产。
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