ATO透明导电薄膜的研究进展

作者：赵祯; **民; 吴姣; 席运泽; 杨东麟; 苏玉长

来源：机械工程材料, 2013, 37(10): 5-9+20.

• ATO薄膜
• 制备方法
• 光学性能

概述了国内外掺锑氧化锡(ATO)透明导电薄膜制备技术的研究现状,包括溶胶凝胶法、射频磁控溅射法、喷雾热解法、化学气相沉积法等,对比分析了各种制备方法的优缺点和及其所制备薄膜的性能;介绍了薄膜厚度、锑掺杂浓度、退火工艺参数等对薄膜光学性能的影响,提出了开发具有良好光学性能ATO薄膜需要解决的问题。最后对ATO薄膜今后的发展方向进行了展望。

• 出版日期2013
• 单位材料科学与工程学院; 中南大学