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摘要
本发明属于薄膜晶体管技术领域,公开了一种透明薄膜晶体管及其制备方法。所述透明薄膜晶体管由依次层叠的玻璃基板、AZO栅极电极、Al2O3栅极绝缘层、AZO半导体层、Al2O3半导体修饰层以及AZO源漏电极构成。本发明采用脉冲激光沉积制备得到了AZO半导体层、Al2O3半导体修饰层,构成AZO/Al2O3有源层,实现室温制备,且无毒绿色环保,与此同时本发明还将单层AZO薄膜应用在TFT的栅极、源漏上,解决了单层AZO薄膜难以应用于电极上的问题,制备出了高性能、高透明的TFT器件。
- 出版日期2018-9-20
- 单位华南理工大学
