MEMS传感器的真空密封技术

作者：曾大富; 刘建华; 罗驰

来源：微电子学, 2005, (03): 268-269+274.

• MEMS
• 传感器
• 谐振梁
• 压力传感器
• 真空密封 MEMS
• Sensor
• Resonant beam
• Pressure sensor
• Vacuum packaging

文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法,提出了一种真空密封方法的设想。

• 出版日期2005
• 单位中国电子科技集团公司第二十四研究所