近年人们试图将MEMS、激光等一些新兴的加工方法引入到喷嘴加工领域。MEMS技术已经用于加工微型推进器,同样的概念,MEMS可以用于加工微喷嘴。我们采用不同测量方法对MEMS加工出的喷嘴几何尺寸进行测量实验,得出其数据的真实差异。
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