BST薄膜的湿法化学刻蚀工艺优化及应用初探

作者：黄鹤; 章天金; 潘瑞琨; 陈仁; 范生强

来源：湖北大学学报(自然科学版), 2010, (04): 418-421.

• 钛酸锶钡
• 湿法化学刻蚀
• 溶胶凝胶法
• 工艺优化
• 应用 barium strontium titanate(BST)
• wet chemical etching
• sol-gel method
• processing optimization
• application

采用sol-gel法在SiO2/Si衬底上制备了Ba0.7Sr0.3TiO3(BST)薄膜.利用湿法化学刻蚀技术对BST薄膜进行图形化.通过实验结果对比,选择HF/HNO3/H2O2/H2O(体积比为1∶20∶50∶20)的混合液作为最佳刻蚀液.扫描电镜(SEM)结果表明,刻蚀后BST薄膜表面干净,无残留物,图形轮廓清晰.原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)结果显示,刻蚀后BST薄膜表面粗糙度增大,结晶性退化.对刻蚀后的薄膜在600℃后退火处理,能要在一定程度上恢复其表面形貌和结晶性.应用优化工艺制备BST薄膜阵列,采用剥离法将Au,Ni/Cr和Pt/Ti电极进行微图形化.最后,成功地...

• 出版日期2010
• 单位湖北大学