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摘要
微机电系统 (MEMS)技术是一种新型制造技术 ,在光通信的发展中得到广泛的应用 ,有极大的市场价值。在整个光通信中 ,光开关是较为重要的光无源器件 ,在光网络系统中可对光信号进行选择性操作。随着光通信的日益发展 ,对光开关的技术要求也日益提高 ,利用 MEMS技术制作的新型光开关具有体积小、重量轻、能耗低、集成化程度高等特点 ,从而日益成为研究的热点。本文简单介绍了 MEMS技术和其主要特点 ,并较详细地阐述了MEMS技术在光通信中的应用 ,以及 MEMS光开关的结构、发展趋势和目前存在的主要问题
- 出版日期2005
- 单位中国人民解放军国防科学技术大学
